Projektleitung bei der Prototypenentwicklung einer neuartigen Lichtquelle für die Herstellung von sub-20nm Halbleiter Strukturen
Für eine neuartige Lichtquelle in lithografischen Belichtungsanlagen zur Herstellung von Halbleiterstrukturen wurde der mechanische Hauptträger entwickelt und mit den funktionstragenden Anbauteilen anderer Subsysteme integriert. Im Rahmen einer internationalen Kooperation wurde das System in eine Prototypenkleinserie überführt.
Ausgehend von einem bestehenden Lösungskonzept wurde im ersten Schritt die Systemintegration der Lichtquelle erarbeitet und in einem zweiten Schritt funktionsfähige Prototypen entwickelt, die abschließend in eine Kleinserie überführt wurden.
Dabei wurden mit einem „Concurrent Engineering“ Ansatz im Projekt technische Lösungen für Fragestellungen in den Bereichen Hochvakuumtechnologie, Reinraumfertigung und Hochenergie – Lasertechnologie bearbeitet und gelöst.
Weiterhin wurden eine systematische technische Versionskontrolle und eine Strukturierung der technischen Änderungsprozesse eingeführt. Dadurch wurden technische Änderungsstände der verschiedenen Subsysteme funktional und zeitlich optimal aufeinander abgestimmt.
Es wurden 4 Prototypen ausgeliefert und eine erste Vorserie mit 10 Anlagen in Serie gebracht.
